超高真空系統的全壓力側童除了最早采用的B-A型超高真空規外，又發展了許多極高真空規，如冷陰極磁控規、抑制規和彎注規等。迅達機組中水環泵的作用是造成所需的準備真空，因而務求該水環泵的最大容許排氣壓力，即是說，一上面要放量普及水環泵的極限真空，另一上面，也要變法兒普及最大容許排氣壓力。但對許多研究工作來說，僅靠全壓力數據是不夠的。這時獲得系統內氣體組分和分壓力的數據比全壓力數據更能說明問題。真空條件下的氣體分析和分壓力測量通常是由動態質譜計完成的。被輸送介質中，若含有固體顆粒，泵入口要加過濾網：如含有鐵磁質微粒，需加磁性過濾器。

真空泵必須經常保持清潔，真空泵上不得放置其他物件，不得堵塞真空泵四周通道，以利維修和操作；經常注意三角皮帶的松緊，加以調整，經常注意各管道接頭處是否漏氣，以及箱體內預真空有否下降，否則要及時維修；經常注意冷卻水是否暢通，每次開車要斷續啟動4-6次，每次2s以內，以克服啟動時較大轉矩。

水環真空泵在使用中環境溫度應小于40℃，電機溫升不得超過75℃。磁力泵正常運行1000小時后，應拆檢軸承和端面動環的磨損情況，并更換不宜再用的易損件對于輸送液為易沉淀結晶的介質，使用后應及時清洗，排凈泵內積液。例如真空系統中的吸附、凝結、脫附過程等，它涉及到容器表面和系統內部物質和殘余氣體分子的相互作用。